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激光晶体洁净室是为满足高精度激光晶体材料生长与加工而设计的特殊环境，其核心要求围绕洁净度、环境控制、工艺与人员管理与材料兼容性展开，以确保晶体生长与加工的高精度和稳定性，具体如下：
1、空气洁净度
激光晶体洁净室通常需达到ISO 5级（Class 100） 及以上标准，控制≥0.5微米微粒浓度≤3520个/m³，避免微粒附着晶体表面或融入生长过程，导致晶体内部缺陷、散射中心或光学损伤阈值下降，影响光学性能。因此洁净度需严格控制在芯片级生产标准以上，采用高效过滤器（HEPA/ULPA）并结合顶送底回的单向层流气流组织，确保气流均匀覆盖工作区。
2、环境控制
激光晶体洁净室的环境需要做好精准控制。洁净室的温度需稳定在22±2℃，避免温度起伏引起晶体生长速率不均或热应力裂纹；相对湿度控制在40%-50%RH，防止晶体潮解或表面结露同时避免静电积累和设备腐蚀。另外，洁净区与非洁净区需保持5-10Pa正压差，不同功能分区（生长区、加工区、检测区）设梯度压差，避免交叉污染。还需注意的是，洁净室要做好振动防控，设置防振地基与隔振平台，避免晶体生长或抛光过程中出现亚微米级结构偏差。
3、工艺与人员管理
激光晶体洁净室在设计时要划分明确的人流、物流通道，人员需经风淋室、更衣间逐级净化，穿戴防静电洁净服；物料通过传递窗或气闸室进入，经清洁灭菌处理。配置防静电接地系统，防止静电吸附微粒或击穿晶体。
4、材料兼容性
激光晶体洁净室的内饰墙面、地板和设备需采用低释气、不产尘、表面光滑、耐腐蚀材料（如不锈钢），避免有机物挥发污染。同时注意生长或加工中产生的化学废料需独立收集处理，防止交叉污染。
5. 环境监控与维护
激光晶体洁净室内需安装洁净度、温湿度、压差等传感器设备，实时监控洁净度、温湿度等参数。制定详细的洁净室清洁与消毒计划，定期对洁净室进行全面清洁，确保洁净室环境持续达标，长期稳定运行。
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