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专利介绍

洁净设备负压腔结构专利介绍


洁净设备所用的高效过滤器,由于其阻力较大,风机的静压箱的压力较大,所以过滤器的前后两端容易产生泄露,此负压结构,让过滤器的后端(过滤后洁净空气端)与高压的静压箱端形成一个负压腔,即使风机静压箱有泄露,也优先漏入负压腔,不会对洁净区形成泄露污染,可用于所有高洁净度要求的设备。


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