全国服务热线

18913235666

电子光电半导体行业

风淋室厂家热线

400-612-0512

昆山(总部)

地址:昆山市登云路258号汇金财富广场C座805室

南通工厂:如皋市智能制造产业园陈草路8号

电话:0512-57736684

传真:0512-57735681

业务部:李小姐

Mobile:189 1323 5666

E-mail:kce103@126.com

电子光电半导体行业

不同细分领域对洁净室的要求


行业 制程工序 洁净度要求 温湿度要求 引用规范
半导体 光刻工艺 ISO 1-3 级(每立方米≥0.1μm 颗粒≤10/100/1000 个);露点温度≤-70℃ 温度:22±0.5℃(波动 ±0.1℃);湿度:45±5% RH(波动 ±2% RH) ISO 14644-1:2015、SEMI F21
半导体 刻蚀 / CVD / 沉积 ISO 3-5 级 温度:23±1℃;湿度:40±10% RH GB 50073-2013、SEMI S2
半导体 晶圆检测 / 量测 ISO 5 级 温度:22±0.5℃(波动 ±0.1℃);湿度:无特殊明确要求(参考行业通用范围 40-65% RH) ISO 14644-1:2015、GB 50073-2013
半导体 封装测试 ISO 5-7 级 温度:22-25℃;湿度:45±5% RH GB 50472-2008
电子 SMT 贴片 ISO 5-7 级(0.5μm 颗粒≤3520/35200/293000 个/m³);0201 元件区域需 ISO 5 级 温度:23±3℃;湿度:45-60% RH ISO 14644-1:2015、GB 50472-2008
电子 PCB 制造 曝光区 / 钻孔区 ISO 5 级;一般区域 ISO 7-8 级 温度:22±1℃;湿度:45±5% RH ISO 14644-1:2015、IEST-RP-CC018
电子 精密电子组装 ISO 7-8 级 温度:20-26℃;湿度:40-65% RH GB 50073-2013
光电 LCD 制造 核心区 ISO 5 级;辅助区 ISO 7 级 温度:23±1℃;湿度:45±5% RH GB 50472-2008、ISO 14644-1:2015
光电 OLED 制造 蒸镀工序 ISO 4 级(氧含量 < 0.1ppm);封装前 ISO 1 级(氧 / 水 < 1ppm,惰性环境) 温度:23±0.5℃;湿度:45±5% RH;柔性 OLED 贴合需 ±0.5℃/±5% RH 超稳定环境 ISO 14644-1:2015、SEMI 标准
光电 光学器件制造 ISO 4-5 级 温度:22±1℃;湿度:45±5% RH ISO 14644-1:2015、GB 50073-2013

行业痛点


1、污染控制难度高

颗粒物释放:制造设备本身的机械运动、磨损以及原材料都可能释放微粒。晶圆上的单个微粒可能导致整个集成电路失效。

2、环境波动导致良率损失

温湿度、洁净度、气流、静电的微小波动会直接影响光刻、蚀刻等关键工艺的稳定性。例如,光刻胶对温度极其敏感,±1℃ 的偏差就可能影响其性能。

3、运行与能源成本大

为维持高的洁净度、稳定的温湿度和压力,洁净室的空调净化系统需要 24小时不间断运行,能耗惊人。同时,大量的排气(用于排除工艺产生的挥发气体和废气)也增加能源消耗。

4、传统管理方式效率低下

传统依赖人工巡检和记录的管理模式,难以实时捕捉突发性的微粒污染或低浓度的气体泄漏。例如,传统的粒子计数器采样频率低,可能错过突发污染事件。

解决方案


稳定可靠:洁净室15万小时稳定运行;5年免费保修

20年行业专家:结合不同行业(电子半导体、生物医疗、实验室等)工艺特性,精准匹配设备选型、兼顾产能扩张、工艺升级需求,规划平面布局,优化人流、物流动线;
设计院专家:专业资质与标准把控更严谨,深耕洁净室及空调系统设计领域,熟练掌握各类法规标准及行业规范,能确保方案从设计源头符合合规要求,规避风险;
选用一线品牌:关键设备(空调、过滤器、自控系统)与核心材料(彩钢板、地面涂层)优先选用行业一线知名品牌,确保硬件可靠性;
自有施工团队:施工过程严格执行 ISO 14644 国际标准及 GB 50073 国家规范;完工后邀请具备权威资质的第三方检测机构,出具具备法律效力的权威检测报告。

节能30%

空调系统设计方案:1、新风量按需分级,回风比例优化,非特殊工艺场景最大化利用回风,减少新风处理能耗。热回收技术落地,回收排风中的热能/湿度预处理新风,降低加热/冷却负荷;
优先高能耗比的空调系统设备+直流风机:2、通过设备自身高能效特性和直流风机无级调速协同,实现洁净室等场景下的能耗最优;
变频与智能控制:采用变频风机,根据洁净室洁净度、温湿度实时需求,动态调节循环风量;核心区与非核心区分区控制,非核心区适当降低换气次数;
能源科学:通过模块化布局与CFD模拟,避免气流短路,提升换热效率;采用洁净气流串联模式,高等级区域排风为低等级区域送风,节省过滤与动力能耗。

 

举例说明


项目名称

四川电子洁净室项目

业务范围

智能输配电及控制设备、配电开关;变压器、整流器和电感器制造

面积

1500多平,层高5.5米/4.5米

洁净度

满足静态ISO 8级

温湿度

温度控制在20-25±2℃,相对湿度控制在35-45%±5%RH

方案

我们采用了集中处理新风的温湿度,再分散处理制冷回风的方案,将风量降低拆解处理,减少了风冷模块的的数量,同时减少很多管道。在同等总风量的情况下,处理1份的新风温湿度和9份混合的制冷回风的能耗低于处理10份混合的温湿度能耗,大大降低了整个能耗节省了成本。

 

2D图纸


3D效果图


 

项目名称

费希尔调压器(上海)有限公司 ,艾默生电气全资控股

面积

327㎡

等级

10级

温度

22±1℃

湿度

45±5%RH

 
 

项目名称

北京北方华创微电子装备有限公司

面积

420㎡

等级

1000级

温度

20~26℃

湿度

40~65RH

 
 

项目名称

SK海力士(无锡)产业发展有限公司

面积

680㎡

等级

1000级

温度

23±1℃

湿度

40±10%RH

 
 

项目名称

赋同量子科技(浙江)有限公司

面积

1100㎡

等级

10000级

温度

23±3℃

湿度

45±5%RH

 

Copyright @ 2021 昆山市德信致远环境科技有限公司    备案号:苏ICP备12061512号-2 苏公网安备 32058302002412    无尘室工程|洁净棚|风淋室    技术支持:苏州网站建设

18913235666

top