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很多人在提到百级洁净室时，都会脱口而出地板用高架地板，那你知道这是为什么吗？今天我们就一起来看看百级洁净室常用高架地板的原因。
一、满足垂直单向流设计需求
百级洁净室的核心标准是每立方米空气中≥0.5微米的颗粒数不超过3520个，为实现这一目标，最有效的气流模式是垂直单向流（层流），即洁净空气从顶部高效过滤器以活塞式均匀垂直向下流动，再经高架格栅地板下方回风通道形成持续循环。这种“顶送下回”设计能确保气流均匀分布，避免涡流和死角，高效排除微粒、细菌等污染物，维持洁净室的极高洁净度。如果采用普通地面，无法实现这种垂直气流组织，洁净度难以达标。
二、防静电与防污染的双重保障
百级洁净室高架地板材料通常采用防静电的，如全钢或铝合金材质，表面电阻和体积电阻符合防静电标准，能有效消散静电荷，防止静电积累对电子元件造成损害或引发火灾。同时，其表面平整光滑，不易附着尘埃，减少了污染物的积聚，进一步提升了洁净室的洁净度。而且，高架地板可将电气线路、水管、风管等管线隐藏于下方，避免管线裸露积尘，减少污染源。此外，高架地板接缝严密，能防止下方不洁空气渗入工作区，确保洁净室密封性。
三、高度集成的工艺支持与灵活布局
百级洁净室通常用于半导体、精密光学等高端制造，工艺设备密集且需频繁更新。高架地板下方空间成为管线综合的隐蔽层，电力、气体、真空、冷却水、排气等所有工艺支持管道均可布置于此，并通过地板穿孔或专用接入点灵活连接至设备。这避免了在洁净室内明装管线产生积尘死角，同时极大方便了设备的移动、增减与维护，适应快速的技术迭代，缩短了改造停机时间。并且高架地板高度可根据洁净室层高、设备需求和维护要求进行调整，标准高度一般为300mm，但可在200mm至600mm之间灵活变化，以适应不同场景的需求。
四、实现高效节能与经济维护
相较于其他顶送侧回、侧送侧回的气流方式，高架地板全地面回风缩短了空气循环路径，减少了风机能耗。静压箱的结构降低了送风系统阻力，允许使用较低压头风机，进一步节约能源。此外，从维护方面考虑，高架地板的模块化设计，可灵活拆卸，便于管线检修、设备维护和洁净室改造，无需破坏地面结构，降低维护成本和停机损失，也降低了长期维护成本，更经济。
除以上原因外，百级洁净室采用高架地板还能起到减震、承重作用，适应百级洁净室内精密设备的安装和运行需求，避免振动影响设备精度和洁净气流稳定性。
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