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组装式洁净室在半导体行业中的应用


日期:2020-06-11 08:50 浏览次数:
我们上篇文章讲到当前的半导体行业收到美国的管制限制,举步维艰。说回到半导体与洁净室之间的关系,为什么半导体、芯片生产必须在洁净室内生产呢?由于半导体工业所制作的积体电路元件尺寸越来越小,众多元件集中在一块小小的晶片之上,因此在生产过程中必须要阻断外界各种污染源,因为这些杂质、污染源会造成元件性能的劣化及可靠度降低,导致芯片良率下降,所以在半导体芯片的制作过程中必须要在一个洁净度管控的环境之中。
 
那么,洁净室是如何隔断污染源,确保半导体的生产环境是洁净的呢?下面我们因组装式洁净室为例为您具体介绍分析。

 
半导体在生产过程中最大的污染源就是从洁净室外部进入洁净室内的人流与物流污染,所以组装式洁净室在进口处配备了风淋室。风淋室的作用是去除人员及货物上的尘埃颗粒、毛屑等污染源,组装式洁净室内部安装了FFU风机过滤机组,进行洁净新风的输送。这两大硬件净化设备一为组装式洁净室阻绝了污染源,二为组装式洁净室提供了洁净空气,可以说是组装式洁净室的最主要构成。
 
在半导体芯片的生产规程中、机器的运转,人员的走动也会产生或带动污染物的流转,组装式洁净室还要设计一定的气流组织确保被污染的空气不会向洁净区流转。组装式洁净室的风机过滤机组布置在顶棚,空气断面上的流速比较均匀,而使气流流向单向平行,靠推出的作用将室内脏空气沿整个断面排至架空地板或侧墙下部设的回风口再回至循环风机,这种上送下回或上送下侧回的气流流型可以使污染空气快速排出室外而不会交叉污染到组装式洁净室内其它工作区域。
 
另外,组装式洁净室的智能实时监测系统与传统洁净室相比在洁净度维护上面更为简便智能。组装式洁净室内安装的传感器将检测数值直接以数字形式显示在智能控制屏上,智能系统控制会判断尘埃颗粒及温湿度是否在标准范围之内,超出则会控制FFU、空调等设备进行自动调节,使之恢复到规定范围之内。
经过以上介绍,相信你已经对组装式洁净室与半导体行业的相互关系有了一定的了解。中国半导体行业目前正在遭受冲击,这也从侧面反映了技术与设计的重要性,中国半导体行业还有很长的路要走。组装式洁净室与半导体息息相关,荣辱与共,未来也将携手为伍,一起突破前路上的艰难险阻,临难不避,赢得未来!
 
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