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| 测点数 NL | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 |
|
洁净区面积 A(m2) |
2.1～6.0 | 6.1～12.0 | 12.1～20.0 | 20.1～30.0 | 30.1～42.0 | 42.1～56.0 | 56.1～72.0 | 72.1～90.0 | 90.1～110.0 |
|
注：1.在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积 2.最低限度的采样点数NL=A0.5计算（四舍五入取整数） |
|||||||||
| 洁净度级别 C1ean Class | 粒 径 Particles Size(um) | ||||
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | |
| 1 | 35.0 | 7.50 | 3.0 | 1 | --- |
| 10 | 350 | 75.0 | 30.0 | 10 | --- |
| 100 | --- | 750 | 300 | 100 | --- |
| 1000 | --- | 1000 | 7.0 | ||
| 10000 | 10000 | 70.3 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | |||
|
ISO Classification Number (N) |
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um |
| ISO Class1 | 10 | 2 | --- | --- | --- | --- |
| ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | --- | --- |
| ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | --- |
| ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | --- |
| ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO Class7 | --- | --- | --- | 352000 | 83200 | 2930 |
| ISO Class8 | --- | --- | --- | 3520000 | 832000 | 29300 |
| ISO Class9 | --- | --- | --- | 35200000 | 8320000 | 293000 |
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