洁净室施工及验收规范之过滤器捡漏检测
日期：2023-02-17 15:33 浏览次数：
洁净室施工及验收规范之过滤器捡漏检测
1、对于安装于
洁净室送、排风末端的高效过滤器，应该用扫描法进行过滤器安装边框和全断面捡漏。
扫描法有：捡漏仪法（光度计法）；采样量最小为1升/分钟的粒子计数器法。
对于洁净室使用超高效过滤器的情况，扫描法有：凝结核计数器法；激光粒子计数器法。
2、捡漏仪法捡漏：
（1）被捡漏洁净室过滤器必须已测过风量在设计风速的80%~120%之间进行。
（2）在洁净室同一送风面上按有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次暴露1台过滤器的方法进行测定。
（3）当洁净室几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入捡漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度
（4）对于洁净室高效过滤器，当检测仪器为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍。当捡漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80~100ug / L的测量范围。
3、粒子计数器法捡漏：
（1） 在被检
洁净室过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5um微粒为准。其浓度必须大于或等于3.5×104粒/升。若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1um微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×106~3.5×107粒/升。
（2） 被检洁净室过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。
（3） 若洁净室上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气；如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法捡漏。
4、捡漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处，以5~20mm/s之速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。
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