从气流分布角度来说如何确保洁净室的洁净度？

日期：2021-03-09 13:37 浏览次数：
从气流分布角度来说如何确保洁净室的洁净度？

行业内通识认为保证单向流洁净室高洁净度的特性及保持其快速自清洁恢复能力有两个重要前提：一是空气来流洁净度；二是来流充斥截面的分布状况。

对于来流的清洁度来说，洁净室外部空气通过高效过滤器过滤后洁净度并不是问题，所以要保证洁净室的气流洁净度或者说设计洁净室的不同洁净等级的重点在于洁净气流的充斥面大小，即洁净气流的分布疏密状况。

因此，在使用高效过滤器的情况下，保证单向流洁净室最高洁净度特性的必要条件是来流充满流截面。但是对于一个房间来说，它不是一段管道，想让气流从头到尾完全充满流动截面是不现实的。就算是百级的洁净室，FFU满布整个顶板，仍然可以发现沿壁及两个过滤器搭接处是有下方反向气流。这种气流把下方的未经过滤的污染空气传输到洁净室上部再送下来，就破坏了洁净来流的活塞截面分布状态，从而影响到洁净室的洁净度。

所以在洁净室的气流组织设计上，如果洁净等级要求高就一定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使洁净室的壁面尽量接近高效过滤器有效送风截面。如果建造一级洁净度的洁净室可以在百级洁净室内部套建，确保底部的反向气流也是有洁净度管控的。

另外，值得注意的是单向流洁净室并不是整个房间充斥速度均匀、无涡流的单向平行气流的才叫单向流洁净室，只要清洁空气在整个洁净室空间中单向流动的气流占主导地位的也可称之为单向流动洁净室。比如洁净室这个空间保证单向流动的气流具有优势地位，那么这个房间就是单向流动的洁净室。因此，密集布置的流线型扩散器顶进和全孔口顶进也是实现垂直单向流动的手段。上述国内外相关标准和措施中单向流洁净室达到的高洁净度是指工作区域达到的洁净度。

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